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    矽烷/鍺烷在矽(100)-2x1 表面吸附反應機制之理論計算的研究
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 馬正杰 指導教授: 江志強
    • 摘要 本文使用 ab initio 分子軌域計算,配合過渡態理論求得的反應速率常數,以尋找矽烷、鍺烷反應系統合成鍺化矽薄膜程序的主要反應發生途徑。有關量子化學計算,皆採用 B3LYP/6-31G[…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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